檢測氣體和范圍

(見下表)

檢測原理

電化學原理

采樣方式

內置泵吸入式

顯示

LCD自照明，連續測量顯示，平均值顯示和峰值顯示

功能

微機控制

溫濕度

-10℃-+value="40" unitname="℃" w:st="on">40℃，低于90%RH，無凝結

連續使用時間

堿性電池(標準)：約20小時

Ni-Cd電池(選購)：約10小時

尺寸和重量

約80(H)×200(W)×142(D)mm 約1.9kg

檢測氣體

檢測范圍(刻度)

報警點

硅烷(SiH4)

0-15ppm(0.5ppm)

5ppm

磷烷(PH3)

0-1ppm(0.05ppm)

0.3ppm

臭氧(O3)

0-1ppm(0.02ppm)

0.3ppm

0-5ppm(0.05ppm)

2ppm

氟(F2)

0-3ppm(0.05ppm)

1ppm

氯化氫(HCl)

0-15ppm(0.5ppm)

5ppm

氟化氫(HF)

0-9ppm(0.5ppm)

3ppm

溴化氫(HBr)

0-9ppm(0.5ppm)

3ppm

氨(NH3)

0-75ppm(0.5ppm)

25ppm

砷烷(AsH3)

0-200ppb(5ppb)

50ppb