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塵埃粒子計數(shù)器用于半導體集成電路生產(chǎn)潔凈室

?? 2020-10-27 5470
核心提示:塵埃粒子計數(shù)器用于半導體集成電路生產(chǎn)潔凈室

集成電路制造業(yè)是需要在一個超凈環(huán)境中進行的,它是使用超純材料進行超精細加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有嚴格的要求,不同的工藝對清潔度有不同的要求。例如,工采網(wǎng)還了解到光刻需要1級微環(huán)境,而化學機械拋光需要1000級環(huán)境。

半導體集成電路在生產(chǎn)過程中會接觸到很多污染物,比如無機離子、有機物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外,廣義而言,不適當?shù)臏囟取穸取⒐庹铡㈧o電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。

其中,當顆粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過一定限度時,集成電路產(chǎn)品會出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導致電路泄漏和異常電氣特性,輕則影響電路性能和使用壽命,重則導致電路報廢。

通常,污染導致的電路產(chǎn)品故障率可能高達60%。簡言之,集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而缺陷密度與空氣中的粒子數(shù)有關。因此,隨著集成電路的迅速發(fā)展,不僅對控制空氣中顆粒的大小要求高,而且對控制顆粒的數(shù)量也要求高。同時,對超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無塵車間項目的化學污染控制也有相關要求。

鑒于這種情況,就需要使用遠程空氣塵埃粒子計數(shù)器來對半導體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進行監(jiān)測,保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達到潔凈標準,對于空氣塵埃粒子計數(shù)器的選擇,工采網(wǎng)技術工程師建議使用美國 Particles Plus Inc. 遠程空氣塵埃粒子計數(shù)器 - 5301,配置簡單,可從一個儀器轉(zhuǎn)移到另一個儀器,易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱,多功能安裝選項,無縫集成到設備監(jiān)控系統(tǒng)。


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