商品名：PS-7(半導(dǎo)體工廠用)
型號(hào)：新宇宙式特氣檢測(cè)部 PS-7（半導(dǎo)體工廠用）
特性：專為半導(dǎo)體行業(yè)定制，傳感器自由更換，維護(hù)方便
檢測(cè)對(duì)象：半導(dǎo)體材料氣體
日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測(cè)器(半導(dǎo)體工廠用)
檢測(cè)方式：
|
特點(diǎn)：
|
帶有氣體采樣流量自動(dòng)控制功能
|
|
|
LCD顯示，現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)一目了然
|
|
|
實(shí)現(xiàn)小型、輕量化
|
|
|
可簡(jiǎn)單地更換傳感器和采樣氣路
|
|
|
帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能
|
|
|
可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式
|
|
|
組合對(duì)應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測(cè)NF3等
|
|
|
實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
|
|
|
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格
|
|
規(guī)格：
|
規(guī)格
|
日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測(cè)器(半導(dǎo)體工廠用)
|
型號(hào)
|
PS-7
|
|
標(biāo)準(zhǔn)型
|
附帶轉(zhuǎn)換器組件型
|
|
檢測(cè)原理
|
•定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式
•熱分解+定電位電解式
|
|
采樣方式
|
泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自動(dòng)控制）
|
|
采樣配管
|
特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi)
|
|
氣體濃度顯示
|
液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖
|
日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測(cè)器(半導(dǎo)體工廠用)
|
報(bào)警接點(diǎn)
|
•氣體報(bào)警（1段以及二級(jí)） 報(bào)警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示
•流量降低報(bào)警 堵塞指示顯示：流量顯示為低速運(yùn)轉(zhuǎn) 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)
•傳感器故障報(bào)警/傳感器誤插入報(bào)警 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 SENS.顯示 •熱分解爐斷線報(bào)警 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 CONV.顯示
|
|
外部輸出
|
氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用） 氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及兩極） 1a無電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位 故障報(bào)警接點(diǎn) （開路集電極/自動(dòng)復(fù)位）
|
|
適合電纜線
|
控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露）
|
|
使用電源
|
DC24V±10%
|
|
消耗電力
|
約7w
|
|
尺寸
|
•W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物)
|
|
重量
|
約1.0kg
|
|
安裝方法
|
壁掛式
|
