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滿量程流量范圍（N2）

5SCCM～10SLM

控制范圍

2～100％F.S.

閥類型（及閥初始狀態）

電磁調節閥（常閉）

準確度

±1.5％F.S.

線性

±0.5～1.5％F.S.

重復精度

±0.2％F.S.

響應時間

≤7sec

工作溫度范圍

5～45℃

工作壓差

0.1～0.5MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-8atm.cc/sec He

通道濕材料

316L不銹鋼、密封材料

靜密封材料

氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠）

電連接器

D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale

動密封材料

氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）

接頭選擇

VCR    1/4”

Swagelok    1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg